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脉冲直流等离子体增强化学气相沉积Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦磨损特性

作者:马大衍,马胜利,徐可为

期刊名称:摩擦学学报

卷起页:2003,23(6):476-479

影响因子:0

收录:0

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:4

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