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退火气氛与扩散阻挡层对Cu膜表面完整性的影响

作者:宋忠孝,徐可为,陈华

期刊名称:真空科学与技术

卷起页:2003,23(3):165-169

影响因子:0

收录:0

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:4

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