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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究

作者:马胜利,马大衍,王昕,徐可为,介万奇

期刊名称:摩擦学学报

卷起页:2003,23(3):179-182

影响因子:0

收录:0

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:4

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