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Structure and growth of basal and random oriented MoSx coatings deposited by magnetron sputtering

作者:Zhang Xiaoling, He Jiawen

期刊名称:J VAC SCI TECHNOL A

卷起页:A21(2)416-421

影响因子:1.557

收录:1

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:1

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