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Deposition of Ti-Si-N coatings in the deep blind-hole with Pulsed-d.c. Power

作者:Dayan Ma, Shengli Ma, Kewei Xu

期刊名称:T NONFERR METAL SOC

卷起页:2004, Vol.14, Special 2:260-263

影响因子:0.227

收录:1

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:1

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