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TiN Coating on the Wall of Holes and Stitches by Pulsed D.C. Plasma Enhanced CVD

作者:MA Sheng-li, XU Ke-wei, JIE Wan-qi

期刊名称:TRANSACTIONS OF NONFERROUS METALS SOCIETY OF CHINA

卷起页:2003,13(4):898

影响因子:0

收录:0

出版时间:0000-00-00

第一署名单位:4

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